在人们对能精确测量薄膜厚度方法的迫切需求下，相应地，产生了许多测量薄膜厚度的方案。而在众多类方法当中，光学方法是被应用最广泛的方法。它相对于其它类方法具有快速、准确和不损伤薄膜等优点。综观当前众多流行的分类方式，按照测量方法所依据的光学原理进行分类最具代表性，可分为干涉、衍射、透射、反射、偏振等。